碳化硅性能指标
指标名称
常压烧结碳化硅 反应烧结碳化硅 加碳碳化硅
纯度(％)碳化硅量 ＞ 97 ＞90 含碳量30%
硬度(HRA) ≥90 ≥90 ≥85
颗粒度(um) 0.5-0.7 8-20 20-40
密度(g/cm) 3.06-3.15 ＞3.05 ＞2.65
抗弯强度(MPa) 400-580 350-450 200
抗压强度(MPa) 3900 ＞2500 1800
断裂强度(MPa) 3.05-4.6 4.3
弹性模量(GPa) 380-410 420
热传导系数 102.6 35-110 125
热膨胀系数（1/℃） 4.02×10 4.3×10 3×10
泊松比 0.14 0.15